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在最近的TSMC 33周年庆典上,董事长兼联合首席执行官刘德银谈到了TSMC的先进工艺规划,最先进的2纳米工艺也进入了试点规划,明年将进行5纳米工艺的大规模生产。

刘德银强调,TSMC的先进工艺7纳米已经在台中晶圆厂运行了近两年,创造了从试生产到大规模生产的全球纪录,也创造了生产100多万片12英寸晶圆的全球首创。极紫外光(euv)应用的7nm增强型工艺技术首次于今年6月开始大规模生产,具有良好的产量性能。TSMC最新的5纳米工艺已经就绪。在过去的一年里,它在朱克第12晶圆厂和台南第18晶圆厂投入了大量的时间和精力,并有望在明年跟随7纳米的步伐,创造半导体技术的又一个里程碑。

台积电:5nm明年量产 2nm已进入先导规划

根据TSMC之前的计划,2纳米工艺是一个重要的节点,金属轨道(金属单元高度)保持在5倍3纳米,而栅极间距(晶体管栅极间距)减小到30纳米,金属间距(金属间距)减小到20纳米,比3纳米小23%。

预计2纳米工艺将于2024年完成,并将进入大规模生产阶段,但具体细节仍不得而知。

来源:武汉新闻信息网

标题:台积电:5nm明年量产 2nm已进入先导规划

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